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半导体和测试领域

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半导体&测试行业的应用

高精准温度,满足精确的生产条件

高精准、可重复的温度是微电子和半导体生产的决定性因素。我们的工艺恒温器和制冷器是电子和半导体生产领域众多应用的理想选择。加热和制冷系统具有许多优点:

  • 高精准、可重复的温度
  • 动态调节性能
  • 快速加热制冷
  • 循环泵具有较高压力和输送能力
  • 使用非导电液体运行,如Galden
  • 可靠的技术和坚固的设计

在半导体和电子领域,我们的温控设备可用于例如湿化学生产晶圆和微芯片的蚀刻槽的温度控制。其他应用包括半导体涂层中的金属游记气相沉积(MOCVD),以及使用Galden或FC77等非导电导热液体对电器和电子元件及功能组件进行温度相关的功能和材料测试。

我们的温度控制器可确保电子元件和半导体生产过程中的高精准恒定温度。在要求越来越高的微电路生产过程中,可重复的温度是保证生产质量稳定的关键因素。我们的温度控制技术在众多工业领域都以可靠、高精准的温度控制而著称。工艺恒温器和制冷器提高了微电子和半导体元件生产的效率和质量。

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